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專業售前售后技術支持
快速、高效、創新，基于多年行業經驗







   







	
Kashiyama SDE系列真空泵


    發布時間: 2018-12-06 17:18    













	

		
 

		
		

	

	  

	

	

		

		

        
			
           
			  

              

					
    
						
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Kashiyama真空泵SDE系列

1.可達到200kL/min.

2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。

3.經得起各種工藝的考驗。

KASHIYAMA真空泵SDE系列規格

規格書 /產品介紹
SDE1220
SDE20M20
SDE30M20
SDE4060
SDE4030M20
SDE8060
SDE804060
最大抽速[L/min]
20,000
30,000
50,000
60,000
80,000
120,000
190,000
極限壓力[Pa]
0.5
0.8
0.5
0.8
0.5
電源電壓(50/60Hz)
3 Phase AC200～220V，380～480V
尺寸[mm] 寬W*高H*長L
W:400 
H: 780 
L:930
W:450 
H: 950  
L:1000
W:450
H: 950 
 L:1000
W:750
H: 1200
L: 1600
W:800 
H:  1580 
L:1320
W:850
H: 1220
 L: 1600
W:1000
H:  1980 
L:1850












	


    

	   
	
		

			

	
	



	

		



    

        

    	
    
 
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