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快速、高效、創新,基于多年行業經驗
Kashiyama真空泵SDE系列
1.可達到200kL/min.
2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。
3.經得起各種工藝的考驗。
KASHIYAMA真空泵SDE系列規格
規格書 /產品介紹
SDE1220
SDE20M20
SDE30M20
SDE4060
SDE4030M20
SDE8060
SDE804060
最大抽速[L/min]
20,000
30,000
50,000
60,000
80,000
120,000
190,000
極限壓力[Pa]
0.5
0.8
電源電壓(50/60Hz)
3 Phase AC200~220V,380~480V
尺寸[mm] 寬W*高H*長L
W:400
H: 780
L:930
W:450
H: 950
L:1000
W:750
H: 1200
L: 1600
W:800
H: 1580
L:1320
W:850
H: 1220
W:1000
H: 1980
L:1850
產品展示
Product display
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