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等離子試紙（PLAZMARK）


    發布時間: 2019-02-26 09:41    













	

		
 

		
		

	

	  

	

	

		

		

        
			
           
			  

              

					
    
						
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	■概要

○可隨低溫等離子強弱而引起顏色變化的試紙

○等離子功率強，處理時間長時，試紙色調變化速度會提高。

※色調變化原因為等離子進行有機反應或蝕刻時，會與試紙產生相互作用。

■特征

○等離子處理效果，可通過目測試紙顏色的變化而判定

○可通過觀察試紙的變化來判斷等離子 處理強度的平面空間分布

○氧氣，氬氣等適合半導體行業處理方式也有著廣泛的應用





左上圖  PLAZMARK O2

O2以外，N2，Air，CF4，H2，NH3等氣體也適用。

上中圖  PLAZMARK Ar洗凈用

諸如Ar等離子這類較難感知的陽性等離子，該試紙同樣適用。

右上圖  PLAZMARK大氣壓等離子用

打印機配線板制造/FPD制造/膜加工等大氣壓等離子設備處理效果同樣可以用該試紙測試。

左下圖  PLAZMARK有機膜去除用

最適合打印設備 配線基板制造時，等離子清除有機膜后，進行驗證用。O2+CF4混合氣體也適用。

下中圖  PLAZMARK耐熱性

采用無機材料色材，耐熱性能好（貼紙型號200℃耐熱）。

右下圖 PLAZMARK硅晶圓行業

采用無機色彩，可以確保晶圓潔凈。超低氣體排放?？赡蜔?00℃。






	


    

	   
	
		

			

	
	



	

		



    

        

    	
    
 
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